●弊社では、「光の総合メーカ」として、光学・機械・電気・ソフトに関する設計から加工・組立・検査まで、一貫体制を整えております。

●パーツ・ユニットの組合せによるアセンブリ製品だけでなく、お客様の要望に合わせたカスタム製品への対応を重視し、カタログ外製品として数多くの実績がございます。

●長年の経験と実績の中からごく一部だけをこの受託特注分野に掲載させていただきます。

●製品の性質上秘密保持契約事項が多く、特に最先端の実績をご紹介できないことをご了承ください。

●フェムト秒レーザを搭載し、ワークへ直接描画可能なレーザ加工機です。

●完全非接触のエアスライダーや高速リニアモータステージを選択可能

●加工状態をモニタする同軸観察ユニット

●CADで作成したDXFファイルを直接加工可能

●深さ方向を精密コントロールした3次元深堀可能

●XY繰り返し加工、視野内高速スキャン加工可能

●12inchウェハ対応(ロングストロークも対応可能)

●高精度オートフォーカス搭載

主な用途

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●FPD用ガラス溝堀
●配線パターン直接描画
●光導波路作成
●水晶発振子の発振周波数の超微細調整
●ガラス穴開け加工
●薄膜抵抗値の微調整
●リペアリング

●発振波長266nmのDUVレーザを搭載したマルチ加工機です。

●Windows対応ガルバノ走査で高速加工が可能です。

●駆動系にはリニアモータを採用。またエアベアリングの採用により速度ムラを低減しました。

●グラナイト基板の採用で高精度化をはかりました。

●観察光学系付きなので微細加工点の観察＆位置決めが可能です。

●Windows対応の豊富なアプリケーションソフトが使用できます。

●光学・機械・制御系などの豊富な自社技術を駆使し、信頼性の高いシステムをご提供します。

豊富な加工材料

マルチ加工で拡がる用途

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●ガラス
●樹脂
●セラミック
●金属
●その他難削材料

●高安定、高品質ビームの完全空冷産業用固体レーザ

●光学ノウハウを凝縮した、ビーム走査、集光、観察光学装置

●作業者の視点に立ったユーザーフレンドリーな操作

●大判サイズのシリーズへ容易に展開できる堅個なグラナイトステージ

便利な機能

主な用途

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●座標補正
●ツータッチ加工指定
●仕上がりチェック

●直接目視できない加工状態を可視化

●高出力レーザに対応した高い透過率

●YAG、エキシマレーザ等各種波長のレーザに対応可能
　（YAG：1.06μm、532nm、355nm、266nm）
　（エキシマ：351nm、308nm、248nm、193nmなど）

●同軸落射照明による明るい視野

●使用波長・作動距離変更にも対応（別途お打合せ）

●レーザのファイバー導入にも対応可能

用途と応用例

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●穴あけ加工機用観察光学系（基板・積層基板穴あけ用）
●レーザアブレーション用光学系
●レーザーマーキング加工機用観察光学系（マーキング位置確認用）
●その他レーザ加工機用観察光学系

各ユニットを組み合せることにより様々な用途に最適なレーザスキャンシステムを構築することが可能です。

ユニット構成例

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●スキャナー（ガルバノスキャナー、ポリゴンスキャナー、レゾナントスキャナー）
●スキャンレンズ（Fθレンズ、アークサインレンズ）
●スキャナー用各種ミラー
●ドライバ
●制御ソフト
●筐体

ビームホモジナイザは、照明光学系の輝度ムラやガウシアン分布レーザのパワー密度の不均一性解消などを行う事ができる光学ユニットです。
フライアイレンズタイプは、多種あるホモジナイザの中でも均一化性能が良く、比較的ハイパワーにも使用する事が出来ます。主にエキシマレーザマスク光学系（マスクに均一照射）に用いられます。

製作実績（製作可能範囲）仕様

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●ソレノイド式シャッターに取り付けたミラーでレーザ光を反射させ、ディフューザで吸収する構造のシャッターユニットです。

●シャッター板が加熱されない構造のため高出力レーザ用としてご利用いただけます。

参考仕様

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●反射膜の角度特性を利用して、レーザ透過光量を入射光量の5％〜90％の間で任意に可変するためのユニットです。

●光軸シフトがほとんど発生しません（0.1mm以下）

●可変部が手動及び電動タイプを用意しています。

●電動可変タイプとパワーモニタ（別途準備）を組み合わせることで、レーザ発振器の出力が変動しても加工時の出力を一定にすることができます。

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レーザ光の偏光を利用し、光量の調整を行うユニットです。
装置内部に組み込まれている1/2波長板を外部コントローラで回転制御することで、透過率を制御します。

製作実績仕様

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