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| フィゾー干渉計は、図中の光路L1（参照面からの反射）とL2（測定面からの反射）の光路差を利用した干渉計です。 |
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光路図
| 記号 |
コンポ名 |
数量 |
| L |
レーザ |
1 |
| SF |
スペイシャルフィルター |
1 |
| CL |
コリメートレンズ |
1 |
| BS |
ビームスプリッター |
2 |
| M |
ミラー |
1 |
| SC |
スクリーン |
1 |
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特長
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簡単な構成で高精度の平面測定・球面測定ができるため、最も普及している干渉計です。
参照光路と測定光路が同一光路となるため振動に強く、コンパクトに構成できます。
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ポイント |
参照面と測定面の間に透過球面（T.S.）を使用することでレンズの透過波面測定も可能です。
（T.S.：Transmission Sphere）
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こんなところが SIGMA KOKI |
Zygo干渉計等の面精度測定システムはフィゾー干渉計を応用しています。
シグマ光機の光学素子製品は、レーザグレードで提供するために、材料から研磨・蒸着・検査までメーカならではの一貫した品質管理体制をとっており、特に高精度が要求される面精度測定システムの原器にも採用されています。 |
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応用例（Zygo干渉計）
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シグマ光機株式会社
東京本社営業部 東京都墨田区緑1-19-9
TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 sales@sigma-koki.com
大阪支店 大阪市淀川区西中島4-9-28
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