●干渉計とは一旦2つに分けた光路を再度1つに重ね合わせることにより作り出した干渉縞を観察することにより、微妙な光学特性の相違を測定する装置です。

●用途や目的に応じてユニット化された干渉計用コンポを光学防振台の任意の位置に配置し、さまざまな光測定を可能にします。

●まずは、干渉計の概要に関して、紹介させて頂きます。各種干渉計に関しては、詳細ページをご覧下さい。

干渉計全般の特長

1. 干渉縞を直接観察できます。
2. 微細な変化を測定できます。
3. 非接触式で測定できます。
4. リアルタイムで測定できます。

精密な球面や平面の表面の精度を検査する場合、光の干渉現象を利用して測定します。
左図はニュートンリング観測装置で干渉縞をサンプル上より見たものです。

平面度＝λ/2 × 縞本数（4本） ＝ 2λ

平面度＝λ/2 × b/a ＝ λ/2 × 1/5 ＝ λ/10

こんなところが　SIGMA KOKI　　測定解説

●流体の可視化：リアルタイムに測定できる特長を活かして、液体や気体の流体に対して流れの変化を測定することができます。

●透明物体の歪量測定：光が透過する物体であれば内部歪を見ることができます。

●波長測定：マイケルソン干渉計を用いれば、光の波長を測定することが出来ます。
その他、光学基本特性の屈折率や表面粗さ、コーティングの膜厚、分散率まで測定が出来ます。

●波面収差：レンズやプリズム等に光を透過させると、入射光と射出光との間に波面のずれが発生します。

●平面度測定、平行度測定：平行平面基板の評価項目として平面度・平行度があります。フィゾー干渉計を用いることでその測定が容易にできます。