ゾーンプレート干渉計

●ゾーンプレートを干渉計に応用した製品で、凹面鏡などの表面形状を光の波長の精度で測定することが出来ます。

●ゾーンプレートはガラスの基板上に同心円状の明暗のリングを描いて作ったもので、このゾーンプレートに光を入射させると、そのまま透過する光と収束・発散する回折光とに分かれます。これらの光が被測定面で反射し、互いに重なり合うと明暗の干渉縞が現れます。

●参照光と測定光が共通の光路を持つコモンパス型の干渉計であるため、振動や空気の揺らぎといった外乱の影響の少ない測定を行なうことが出来ます。

●測定対象に合わせたゾーンプレートを作ることで、様々な曲率半径のミラーを測定することが出来ます。ゾーンプレートの円環はコンピュータの数値演算によって作成できるため、球面だけでなく従来難しかった非球面の測定を行なうことも可能です。

マイクロ干渉計

●組込み装置向けにA4版サイズまで小型化したマッハツェンダー干渉計です。

●ポストシステムによる立体構造で空間を活用し、装置全体の小型化を図りながら、光路折り返し部に高精度（面精度λ/20）ミラーを採用することで、波面の乱れがきわめて小さくなっています。

●検出部をCCDとし、小ビーム径に対応しています。

●カタログ品をベースに構成しておりますので、構成の変更やメンテナンスも容易です。