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光学調整手順


光学調整手順例

光学部品はただ並べるだけでは、光学系の性能を発揮できません。光学調整を行い、適切な位置決めをすることにより初めて光学系本来の性能を発揮させることができます。そのために個々の光学部品には調整機能が必要になってきます。ここでは光学調整を行う際の目安として光学調整手順の一例を紹介致します。
また、なかなか調整しきれない時、ホルダーやステージ軸数を増やすだけで光学調整をスムーズに行える場合もあります。微調整が必要な場合とそうでない場合がありますが、それは条件次第で変わります。
弊社では光学調整に困ることの無い様に、位置決めステージ類やホルダー類等ラインナップを豊富に取り揃えております。

(1) 配置の決定   (2) 光軸の高さ合わせ
 まず光学ツールの配置を検討します。

L:レーザ
M:ミラー
H:乾板ホルダー
CL:コリメートレンズ
BS:ビームスプリッター
SF:スペイシャルフィルター

 

各コンポのほぼ中心にレーザ光が当たるように高さを調整します。

     
(3) ミラー調整   (4) 配置の決定
 

4つのミラーホルダーを45°に傾けた各々のミラーの中心にレーザ光が当たるように配置し、2分岐したレーザ光がターゲットでひとつに重なるように調整します。このとき、ターゲット上のみでなく2分岐した光が同じ光路上をたどりターゲットでひとつになることが重要です。

 
(5) レンズ系調整

干渉縞を拡大するためにスペイシャルフィルターとコリメートレンズを設置します。スペイシャルフィルターの中心が光軸に乗るように調整します。コリメータレンズをスペイシャルフィルターの焦点距離に合わせて設置します。ターゲットとコリメートレンズ以降のレーザ光が同じ径になっていることを確認します。再び微調整を行い、2つのコリメート光を重ね合わせます。

 
(6) 最終微調整
NG   OK

(1) 〜 (5) の作業で干渉縞が出て来ない場合は、光路長または光軸の調整が不十分です。


注意

レーザ光が目に入らないようにレーザ保護眼鏡をかけて調整作業を行ってください。


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