精度保証について

ISO9000管理システムの普及により、品質におけるトレーサビリティが重要になっています。
シグマ光機では従来より必要に応じトレーサビリティ体系にもとづき干渉計にて保証された高精度研磨製品を提供して参りましたが、他の検査項目もトレーサビリティ体系にもとづいた検査体制を整えました結果、平面研磨製品の面精度ばかりでなく、平行平面基板の平行度および蒸着製品、フィルターの透過率の保証も出来るようになりました。これら製品を測定する検査機はメーカー、校正機関の特定基準器との間で定期的に校正が行なわれています。

保証可能な検査項目

1. 平面基板の反射波面蒸着製品

2. 平行平面基板、ウェッジ基板の反射波面、透過波面

3. 平行平面基板の平行度

4. 蒸着製品、フィルターの透過率

検査機	メーカー	型式	検査項目
干渉計	ZYGO社	GPI　XP	反射波面精度、透過波面精度（φ150まで）
オートコリメータ	（株）ニコン	6D	平行度（30´以内）
分光光度計	（株）日立製作所	U-4000	透過率

※校正証明書付検査成績書が必要な方は前もってご連絡ください。

干渉計のトレーサビリティ体系表

●面精度について

ガラスにおける面精度は反射波面精度と透過波面精度があります。測定は光（He-Neレーザ光）の干渉作用を利用した干渉計にて行ないます。シグマ光機ではカタログ中に基板面精度、面精度と表記して有りますが、共にコート前の反射波面精度を意味します。
ガラス基板にコートした場合、熱の影響と蒸着材料による応力の影響で基板の反射波面精度は一般的に悪くなります。但し金属のみのコートではほとんど変化しません。反射波面精度はガラス基板加工時の歪と研磨仕上げのみに依存します。透過波面精度は理論上材料の持っている内部歪と屈折率の均質度で一義的に決まりますが、実際の製造上では二面の反射波面と相互に関係してきます。透過波面の必要精度によっては材料メーカーに均質度指定による材料の購入が必要です。透過波面精度が必要な場合、コート後の反射波面精度が問題になる場合は前もって御相談ください。

オートコリメータのトレーサビリティ体系表

分光光度計のトレーサビリティ体系表

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