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X軸

X軸スチールステージ ―65×65、M6―＜TSD＞ □65mmサイズでM6仕様、ステージ本体とガイドが一体加工型の高精度X軸スチールステージ。

X軸スチールステージ（透過） ―120×120、M6―＜TSD＞ 透過穴有□120mmサイズでM6仕様、ステージ本体とガイドが一体加工型の高精度X軸スチールステージ。

X軸ロングスチールステージ ―65×120、M6―＜TSD＞ 長方形でM6仕様、ステージ本体とガイドが一体加工型の高精度X軸ロングスチールステージ。

X軸ロングスチールステージ ―M6―＜TSD＞ 長方形でM6仕様、ステージ本体とガイドが一体加工型の高精度X軸ロングスチールステージ。

X軸ステンレスステージ ―65×65、M6―＜TSDS＞ □65mmサイズでM6仕様、ステージ本体とガイドが一体加工型の高精度真空対応X軸ステンレスステージ。

X軸アルミクロスローラステージ ―M6―＜TAM＞ M6仕様、主要部材がアルミで軽量なクロスローラガイド方式X軸アルミステージ。

X軸アルミステージ　―M6―＜TBM＞ □65mmサイズでM6仕様、比較的軽量物搭載に適したピン方式X軸アルミステージ。

X軸ロングアルミクロスローラステージ（大型）　―M6―＜TAMC＞ 長方形でM6仕様、クロスローラガイド・駆動がネジ送り式の大型X軸アルミステージ。

XY軸

XY軸スチールステージ ―65×65、M6―＜TSD＞ □65mmサイズでM6仕様、ステージ本体とガイドが一体加工型の高精度XY軸スチールステージ。

XY軸スチールステージ（透過） ―120×120、M6―＜TSD＞ 透過穴有□120mmサイズでM6仕様、ステージ本体とガイドが一体加工型の高精度XY軸スチールステージ。

XY軸ステンレスステージ ―65×65、M6―＜TSDS＞ □65mmサイズでM6仕様、ステージ本体とガイドが一体加工型の高精度真空対応XY軸ステンレスステージ。

XY軸ロングスチールステージ ―M6―＜TSD＞ それぞれの軸が長方形でM6仕様、ステージ本体とガイドが一体加工型の高精度XY軸ロングスチールステージ。

XY軸アルミクロスローラステージ　―M6―＜TAM＞ M6仕様、主要部材がアルミで軽量なクロスローラガイド方式XY軸アルミステージ。

XY軸アルミステージ ―65×65、M6―＜TBM＞ □65mmサイズでM6仕様、比較的軽量物搭載に適したピン方式XY軸アルミステージ。

XY軸アルミクロスローラステージ（大型） ―M6―＜TAMC＞ 正方形でM6仕様、クロスローラガイド・駆動がネジ送り式の大型XＹ軸アルミステージ。

Z軸

Z軸フラットスチールステージ ―65×65、M6―＜TSD＞ □65mmでM6仕様、テーブル面が水平なZ軸フラットスチールステージ。

Z軸フラットスチールステージ ―120×120、M6―＜TSD＞ □120mmでM6仕様、テーブル面が水平なZ軸フラットスチールステージ。

Z軸スチールステージ（垂直） ―M6―＜TSD＞ M6仕様で、ステージとZ軸ブラケットを一体化したZ軸スチールステージ。

Z軸フラットステンレスステージ ―M6―＜TSDS＞ M6仕様で、テーブル面が水平な真空対応Z軸ステンレスステージ。

Z軸ステンレスステージ（垂直） ―M6―＜TSDS＞ M6仕様で、ステージとZ軸ブラケットを一体化した真空対応Z軸ステンレスステージ。

Z軸アルミクロスローラステージ（垂直）　―M6―＜TAM＞ □65mmでM6仕様、ステージとZ軸ブラケットを一体化したZ軸アルミクロスローラステージ。

Z軸アルミステージ（垂直） ―M6―＜TBM＞ M6仕様で、ステージとZ軸ブラケットを一体化した比較的軽量物搭載に適したZ軸アルミステージ。

θ軸

θ軸粗微動ステージ ―φ65、M6―＜KSP＞ φ65mmサイズでM6仕様、移動ガイドがすり合せ式の精密θ軸ステージ。

θ軸粗微動ステージ ―φ90、M6―＜KSPB＞ φ90mmサイズでM6仕様、移動ガイドがすり合せ式クロスローラガイド式の精密θ軸ステージ。

θ軸透過用薄型粗微動ステージ ―φ120、M6―＜KSPB＞ 透過穴有φ120mmサイズでM6仕様、移動ガイドがすり合せ式の精密θ軸ステージ。

θ軸透過用薄形粗微動ステージ ―φ160、M6―＜KSPB＞ 透過穴有φ160mmサイズでM6仕様、移動ガイドがすり合せ式の精密θ軸ステージ。

θ軸ウォーム式ステージ ―M6―＜KSW＞ M6仕様で、ウォームギアで駆動させるためガタなく360°にわたって精密な微調整ができるθ軸ステージ。

α・αβ軸

α軸ゴニオステージ ―65×65、M6―＜GOH＞ □65mmでM6仕様、姿勢調整や試料の傾斜回転などに使用するアリ溝・ウォームギア式のα軸ゴニオステージ。

αβ軸ゴニオステージ ―65×65、M6―＜GOH＞ □65mmでM6仕様、姿勢調整や試料の傾斜回転などに使用するアリ溝・ウォームギア式のαβ軸ゴニオステージ。

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