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XYZ軸ステージ比較一覧表 XYZ軸ステージの種類・特性・サイズ・バリエーションの一覧。ステージの機種選択にご利用ください。 XYZ軸フラットスチールステージ ＜TSD＞ XY軸スチールステージとZ軸フラットスチールステージを組合せたタイプ。   ■ステージサイズ：25×25 ■ステージサイズ：40×40 ■ステージサイズ：60×60 ■ステージサイズ：80×80 ■ステージサイズ：100×100 ■ステージサイズ：120×120 XYZ軸スチールステージ（垂直） ＜TSD-L＞ XY軸・Z軸スチールステージを組合せたタイプ。   ■ステージサイズ：25×25 ■ステージサイズ：40×40 ■ステージサイズ：60×60 XYZ軸フラットアルミステージ ＜TBM＞ XY軸アルミステージとZ軸フラットアルミステージを組合せたタイプ。   ■ステージサイズ：40×40 ■ステージサイズ：60×60 XYZ軸アルミステージ（垂直） ＜TBM-L＞ XY軸・Z軸アルミステージを組合せたタイプ。   ■ステージサイズ：25×25 ■ステージサイズ：40×40 ■ステージサイズ：60×60

XYZ軸フラットステンレスステージ ＜TSDS＞ 真空対応XY軸ステンレスステージとZ軸フラットステンレスステージを組合せたタイプ。   ■ステージサイズ：25×25 ■ステージサイズ：40×40 ■ステージサイズ：60×60 XYZ軸ステンレスステージ（垂直） ＜TSDS-L＞ 真空対応XY軸・Z軸ステンレスステージを組合せたタイプ。   ■ステージサイズ：25×25 ■ステージサイズ：40×40 XYZ軸アルミクロスローラステージ（垂直） ＜TAM-L＞ XY軸・Z軸アルミクロスローラステージを組合せたタイプ。   ■ステージサイズ：40×40 ■ステージサイズ：60×60 ■ステージサイズ：80×80 XYZ軸フラットブロックステージ ＜TASB＞ 突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、調整用XYZ軸ステージ。 XYZ軸ネジ送りステージ（ブロックステージ） ＜TAS-L＞ 動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、アリ溝ガイド・ネジ送り式調整用XYZ軸ステージ。 XYZ軸ラックピニオンステージ ＜TAR/TARW＞ 使用頻度が多く早い動きとストロークが必要な場合に適した、XYZ軸ラックピニオンステージ。   ■小型タイプ ■垂直タイプ ■大型フラットタイプ

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