使用する計測器

●アジレントテクノロジー株式会社製ダイナミックキャリブレータ（HP5529A）
このダイナミックキャリブレータは米国国立標準技術研究所National Institute of Standards and Technology （NIST）の標準にトレーサブルな標準器で校正されています。

●株式会社ニコン製2軸光電式オートコリメータ、ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社製レーザー測長器（BG10L/BR10A）、などは製造会社でトレーサブルな標準器で校正されています。

精度確認項目（測定項目）

（1）長さ測定　（2）真直度測定　（3）直角度測定　（XY軸ステージ）（自動ステージをご発注時に精度測定項目または測定仕様、例えば貴社ご要求負荷荷重条件をご指示いただければ有償で測定結果を添付して納入いたします。

組付けた状態での精度確認

●工場では自動ステージ単体の精度確認をしていますので組付けた状態、例えばX、Yとθz軸を組付けたステージの精度測定は原則として測定することはできません。（但し、ある特定の条件での精度測定は行ないますので、別途お問い合わせ下さい。（有償））

納入先での精度測定

●客先での精度確認は当社では実施することはできません。必要に応じて、財団法人日本品質保証機構などに依頼しています。詳細については別途お問い合わせ下さい。（有償）

位置決め精度

検査規定：JIS B 6333に準拠
基準点（原点）より、移動量のほぼ全域にわたって一方向（片方向）に一定間隔で順次位置決めを行う。
それぞれの位置決め地点での実測値（実際に基準点より移動した距離）と目標値（指令した基準点より移動すべき距離）との差を求め、差分の最大及び最小の最大差を位置決め精度とする。

繰返し位置決め精度

検査規定：JIS B 6333に準拠
ステージの3箇所（ステージ両端、ステージ中央部）で、任意の一点に対し同方向から7回位置決めを行い、停止位置（位置決め位置）のズレ幅の最大を求める。
最大ズレ幅のうち、ステージ両端・ステージ中央部での最大値を繰返し位置決め精度とする。

ロストモーション

検査規定：JIS B 6333に準拠
ステージの3箇所（ステージ両端、ステージ中央部）で、任意の一点に対して正方向及び負方向より位置決めを行い、両方向からの停止位置（位置決め位置）のズレ幅を求める。
この測定を7回繰返し行い、7回の平均値を求める。
この平均値のうち、ステージ両端・ステージ中央部での最大値をロストモーションとする。

真直度

検査規定：JIS B 6330に準拠
進行方向軸に対する垂直方向及び水平方向のズレ幅。
基準点（原点）より、移動量のほぼ全域にわたって一方向（片方向）に一定間隔で順次位置決めを行う。
各位置決め地点での進行方向軸に対するズレ幅を測定し、求めたズレ幅の最大差を真直度とする。

繰返し位置決め精度

検査規定：シグマ光機　社内規格
基準点より、一定間隔で12点順次位置決めを行う。
尚、位置決めは5往復行う。
各位置決め地点での実測値（実際に基準点より移動した位置）と目標値（指令した基準点より移動すべき位置）との差を求める。
求めた値より一方向（片方向）の平均及び標準偏差を算出し、各地点での平均±標準偏差の最大値を繰返し位置決め精度とする。

ロストモーション

検査規定：シグマ光機　社内規格
検査規定：シグマ光機　社内規格
基準点より、一定間隔で12点順次位置決めを行う。
尚、位置決めは5往復行う。
各位置決め地点での正方向及び負方向の実測値（実際に基準点より移動した位置）の平均値を求め、その差分をその位置のロストモーションとする。
この値の最大値をステージのロストモーションとする。

面振れ精度

検査規定：JIS B 6191に準拠
ステージを1回転（360°）させた際のステージテーブル面の垂直軸方向の変位を測定。測定値の最大変位量を面振れ精度とする。