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高剛性・精密型自動ステージ 精密級ガイドアクチュエータを採用した計測・検査用のステッピングモータ駆動ステージ   ■SGSP15-10(移動量：10mm) ■SGSP20-20(移動量：20mm) ■SGSP20-35(移動量：35mm) ■SGSP20-85(移動量：85mm) ■SGSP26-50(移動量：50mm) ■SGSP26-100(移動量：100mm) ■SGSP26-150(移動量：150mm) ■SGSP26-200(移動量：200mm) ■SGSP33-50(移動量：50mm) ■SGSP33-100(移動量：100mm) ■SGSP33-200(移動量：200mm) ■SGSP46-300(移動量：300mm) ■SGSP46-500(移動量：500mm) ■SGSP46-400(移動量：400mm) ■SGSP46-800(移動量：800mm) ■SGSP65-1200(移動量：1200mm) ■SGSP65-1500(移動量：1500mm) ステッピングモータ駆動小型自動ステージ R溝案内構造と精密ネジを組み合わせた、低価格のステッピングモータ駆動ステージ 精密自動ステージ 精密ボールネジと精密クロスローラガイドを採用した高精度・安定型のステッピングモータ駆動ステージ   ■KST-50(移動量：50mm) ■KST-100(移動量：100mm) ■KST-200(移動量：200mm) SGSPシリーズシステム系統図 TSDMシリーズシステム系統図 KSTシリーズシステム系統図

精密型小型ZF軸自動ステージ 精密級ガイドアクチュエータを採用しテーブル面をフラットにしたステッピングモータ駆動ZF軸ステージ 小型自動回転ステージ 案内ガイドにベアリング方式を採用した、ステッピングモータ駆動小型θz軸ステージ 自動偏光子ホルダ 偏光子を自動回転させる小型θz軸ステージ 自動NDフィルタ NDフィルタを自動回転させる小型θz軸ステージ 自動回転ステージ 案内ガイドにベアリング方式を採用した、ステッピングモータ駆動θ軸ステージ 精密自動回転ステージ 精密・高剛性なステッピングモータ駆動ステージ 小型自動ゴニオステージ 移動ガイドにクロスローラを採用した、ステッピングモータ駆動αβ軸ステージ ■SGSP-60A(α軸) ■SGSP-60B(αβ軸)

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