使用する計測器

(1) アジレント・テクノロジー株式会社製ダイナミックキャリブレータ（HP5529A）

(2) 株式会社ニコン製2軸光電式オートコリメータ

(3) ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社製レーザ測長器（BG10L／BR10A）

(4) ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社製変位計（DE12BR／LY51）

(5) 株式会社キーエンス製レーザ変位計（LC-2420／LC-2400）

精度確認項目（測定例：参考）

(1) 直動ステージ

(2) 回転ステージ

(3) ゴニオ（傾斜）ステージ

●自動ステージを発注時に精度測定項目及び使用条件、例えば、負荷荷重条件をご指示いただければ有償で測定結果を添付して納入いたします。

組付けた状態での精度確認

●工場では自動ステージ単体の精度確認をしていますので、組付けた状態、例えばX,YとZ軸を組付けたステージの精度測定は原則として行っておりません。（但し、ある特定の条件での精度測定は行いますので、別途お問合せください。（有償））

納入先での精度測定

●客先での精度確認は当社で実施することはできません。必要に応じて、財団法人品質保証機構などに依頼しています。詳細につきましては別途お問合せください。（有償）