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SFSシリーズシステム系統図

シグマファインステージ ピエゾ素子をアクチュエータとして採用した自動位置姿勢決めステージ

透過型XYファインステージ ピエゾ素子をアクチュエータとして採用した50×50mmの開口部をもつ透過型XYステージ

対物レンズ用ファインアクチュエータ ピエゾ素子をアクチュエータとして採用した対物レンズ用アクチュエータ

SFSコントローラ ピエゾ駆動ステージ用コントローラ

デジタルセンサ 静電結合を利用した微小変位センサ

DS表示器 デジタルセンサの変位量を検出する専用表示器

FINEケーブル ステージ-コントローラ間用ケーブル

DSケーブル デジタルセンサ用ケーブル

シグマ光機株式会社
東京本社営業部　東京都墨田区緑1-19-9
TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550　sales@sigma-koki.com
大阪支店　大阪市淀川区西中島4-9-28
TEL.06-6307-4835　FAX.06-6307-4834　sales.osaka@sigma-koki.com

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