真空度、Qマス測定データ

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マスピークの解釈

残留ガスにおいてマスピーク（マス・スペクトル）を測定した時に、各質量数に出現するピークがどういったガスなのか、その主なものの一覧表及びその解釈について記載します。

●残留ガススペクトルの一覧表

質量数	イオン	備考	質量数	イオン	備考
1	H^＋	H2、H2O、炭化水素、etc	30	NO^＋	汚れた真空系の排気直後に出る
2	H2^＋	H2、H2O、炭化水素、etc	31	CH3O^＋	アルコール
3	HD^＋	Dの存在比、約0.01%	32	O2^＋	エアリークの時はN23:O32＝4:1となる
4	He^＋		35	Cl^＋
12	C^＋	CO、CO2、炭化水素	37	Cl^＋	Cl35:Cl37＝3:1
14	N^＋、CH2^＋、CO2^＋	N2、CO、炭化水素	39	K^＋、C3H3^＋	K^＋はフィラメントから解離する
15	CH3＋	CH4、CH3を有する分子	40	Ar^＋、C3H4^＋	Arは大気中に1％存在する
16	C^＋、CH4^＋	O2、CH4、酸素化合物	41	C3H5^＋	炭化水素
17	OH^＋	H2O	42	C3H6^＋	炭化水素
18	H2O^＋	H2O、OH^＋：H2O^＋≒1：5	43	C3H7^＋	炭化水素
19	F^＋	フィラメント及び電極表面に吸着されていることがある	44	CO2^＋
20	Ar^＋、H2O^＋、Ne^＋	O15の存在比0.2％程度のH2O（20）が存在する	50	C4H2^＋	炭化水素
22	CO2^2＋、Ne^＋	Ne22の存在比8.8%	51	C4H3^＋	炭化水素
23	Na^＋	フィラメント及び電極表面に吸着されていることがある	55	C4H7^＋	炭化水素
27	C2H3^＋	炭化水素	56	C4H8^＋	炭化水素
28	N2^＋、CO^＋	最後まで残る	57	C4H9^＋	炭化水素
29	C2H5^＋、N2^＋、CO^＋	N15存在比0.7％、C13の存在比1.1%

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