OPBA/OPSQA 高平行度铝反射镜

- 在光学平板表面,真空镀上铝膜而成的反射镜。
- 为了防止划伤及氧化,在铝膜面上镀了氟化镁(MgF2)保护膜。
- 此类反射镜被用于低反射率表面(例如,平板或电子线路实验板的表面)的参考反射镜。
向导
- 镀多层电介质膜代替氟化镁保护膜,这样可提高反射率5%左右。尽管层数不多,但因是电介质多层膜,制造时需要指定使用的波长,入射角等参数。
- 控制铝膜反射镜的氟化镁(MgF2)保护膜的厚度,可以实现在紫外区域达到最大的反射率(约85%)。
注意
- 反射率曲线是样品的实测值,而且可能随制造批次不同而变化。
- 检查光路和调整光轴时,请一定戴好激光防护镜。
- 面精度是镀膜前的反射波面精度。
| 材料 | BK7 SFS(人造熔融石英玻璃) |
|---|---|
| 光学膜 | Al+MgF2(铝膜+氟化镁保护膜) |
| 面精度测量法 | 采用ZYGO公司激光干涉仪测量基板 |
| 面精度测量用波长 | 632.8nm |
| 平行度 | ≤2秒 |
| 表面质量 | 40-20 |
| 有效尺寸范围 | 实际尺寸的90% |
| 入射角 | 0° |

