OPSQSP/OPCFSP/OPMFSP 低散乱平行平面基板
- 低散乱平行平面基板是一种精密抛光，面精度高表面粗糙度小的基板。它最适用于作为分光镜，窗口，或激光反射镜的基板使用。
- 它不仅可作为窗口材料，也可用作测量其他光学元件的基准平面。
- 用Ra(算术平均值)值表示表面糙度。算术平均值粗糙度是指与平均线的偏差的绝对值的平均值。
- 我公司的技术指标里所记载的表面粗糙度以JIS B0601-1994为标准。
注意
- 面精度是指用干涉仪测量的反射波面精度。
- 检查光路和调整光轴时，请一定戴好激光防护镜。
| 材料 | SFS（人造熔融石英玻璃） CaF2(氟化钙） MgF2（氟化镁） |
|---|---|
| 表面粗糙度 | 2 A以内(Ra) |
| 面精度测量用波长 | 632.8nm |
| 面精度测量法 | 使用Zygo激光干涉仪测量 |
| 有效尺寸范围 | 实际尺寸的90% |
| 表面质量 | 10 - 5 （SQ） 20 - 10 （CFU·MF） |
