HMPQP/HMPZP 光学样板
- 光学样板是人造熔融石英材质的光学平板之一，被用作平面元件的平面度测量时的标准平面。也被称为牛顿样板。
- 把被测件放在光学平板上就会出现牛顿环，根据牛顿环的数量和形状，检验和测量被测件的面精度。牛顿环是两个表面间的间隙引起的干涉条纹。一个间隔相当于测量波长的一半。(牛顿环法)
- 每个光学样板都被放置在一个保护木合内，并附有实测的干涉条纹照片和表面形状数据。
参考
- 广义上说所有的平面基板都可被称为「光学平板」，但一般它是指作为测定仪用的牛顿样板。
注意
- 采用牛顿环方法测量时，由于和光学样板接触，所以存在擦伤被测件表面的可能。
- 西格玛光机的光学样板标准和JIS规格不一样。
- 在光学样板的侧面，有一个箭头指示正面。
- 关于材料，请向本公司营业部咨询。
| 材料 | SFS（人造熔融石英） ZD（ZERODUR®）或 CCZ(CLEARCERAM®-Z) |
|---|---|
| 面精度测量用波长 | 632.8nm |
| 面精度测量法 | Zygo 激光干涉仪 |
| 有效通光孔径 | 实际尺寸的95% |
| 平行度 | ≤3分 |
| 反面 | 简易抛光 |
| 表面质量 | 20 - 10 |
