西格玛光机株式会社
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TSDS
Z轴TSD不锈钢直动平台(水平台面型)
移动台面为水平的Z轴TSD不锈钢直动平台。
其基本特性,如高刚性,高承载能力,优异的直线性和精密定位性能等,和TSD直动平台一样。
和一般钢质或铝质平台相比,不锈钢平台有很多优点。
它强度非常好,经久耐用,抗冲击,耐磨损,适用于超净工作区和真空环境。
它们没作表面处理,其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄,密封性高的场合。
台面尺寸
[mm]
行程
[mm]
螺距
[mm/rotation]
移动精度直线度
[mm]
平行度
[mm]
移动平行度
[mm]
最小读数
[mm]
最小分辨率
[mm]
承载能力Fz'
[N]
最大承载力矩Fx'
[N・m]
最大承载力矩Fy'
[N・m]
刚度Fx"
[arcsec/N・cm]
刚度Fy"
[arcsec/N・cm]
自重
[kg]
型号
CAD
数量
25 x 25
±3
0.5
0.01
0.08
0.015
0.01
0.003
29.4 (3.0kgf)
1
1
7.14
7.14
0.1
TSDS-253
40 x 40
±3
0.5
0.005
0.08
0.02
0.01
0.003
88.3 (9.0kgf)
3.9
3.9
1.84
1.84
0.25
TSDS-403
60 x 60
±5
0.5
0.005
0.08
0.025
0.01
0.003
147.0 (15.0kgf)
6.9
6.9
0.51
0.51
1
TSDS-603
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