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TSDS XZ轴TSD不锈钢直动平台

C050403
  • 移动台面为水平的XZ轴TSD不锈钢平台。
  • 其基本特性，如高刚性，高承载能力，优异的直线性和精密定位性能等，和TSD直动平台一样。
  • 和一般钢质或铝质平台相比，不锈钢平台有很多优点。它强度非常好，经久耐用，抗冲击，耐磨损，适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理，其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄，密封性高的场合。
  • L型的Z轴的操作部位于上方，因此不受安装方向的限制，具有很好的操作性能。
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          台面尺寸
          [mm]          		行程
          [mm]          		螺距
          [mm/rotation]          		移动精度直线度
          [mm]          		平行度
          [mm]          		最小读数
          [mm]          		最小分辨率
          [mm]          		承载能力Fz'
          [N]          		最大承载力矩Fx'
          [N・m]          		最大承载力矩Fy'
          [N・m]          		刚度Fx"
          [arcsec/N・cm]          		刚度Fy"
          [arcsec/N・cm]          		自重
          [kg]          		型号CAD数量
          25 x 25X轴：±3
          Z轴：±3          		0.50.010.110.010.00329.4 （3.0kgf）10.78.958.750.17TSDS-254C
          25 x 25X轴：±3
          Z轴：±3          		0.50.010.110.010.00329.4 （3.0kgf）10.78.958.750.17TSDS-254S
          40 x 40X轴：±6.5
          Z轴：±3          		0.50.0050.110.010.00388.3 （9.0kgf）3.93.92.22.150.45TSDS-404C
          40 x 40X轴：±6.5
          Z轴：±3          		0.50.0050.110.010.00388.3 （9.0kgf）3.93.92.22.150.45TSDS-404S
          60 x 60X轴：±6.5
          Z轴：±5          		0.50.0050.110.010.003147 （15.0kgf）6.96.90.750.751.5TSDS-604C
          60 x 60X轴：±6.5
          Z轴：±5          		0.50.0050.110.010.003147 （15.0kgf）6.96.90.750.751.5TSDS-604S

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