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TSD XYZ轴TSD直动平台(水平台面型)

移动台面为水平的XYZ轴TSD直动平台。

在钢制平台主体(下板)与移动台(上板)上对直接加工导轨，淬火后，进行导轨研磨。

导轨为R型槽，钢珠以4点接触的方式在导轨槽内滚动，对于来自所有方向的负荷，均具有稳定的负载能力。

加工、组装误差极小，可实现高精度、平滑的移动。

极大地降低了平台高度(厚度)。

台面尺寸 [mm]	行程 [mm]	螺距 [mm/rotation]	移动精度直线度 [mm]	平行度 [mm]	最小读数 [mm]	最小分辨率 [mm]	承载能力Fz' [N]	最大承载力矩Fx' [N・m]	最大承载力矩Fy' [N・m]	刚度Fx" [arcsec/N・cm]	刚度Fy" [arcsec/N・cm]	自重 [kg]	型号
25 x 25	XY轴：±3 Z轴：±3	0.5	0.01	0.13	0.01	0.003	29.4 （3.0kgf）	1	1	10.55	10.55	0.2	TSD-255S
25 x 25	XY轴：±3 Z轴：±3	0.25	0.01	0.13	－	0.002	29.4 （3.0kgf）	1	1	10.55	10.55	0.2	TSD-255SFP
40 x 40	XY轴：±6.5 Z轴：±3	0.5	0.005	0.13	0.01	0.003	88.3 （9.0kgf）	3.9	3.9	2.5	2.5	0.55	TSD-405C
40 x 40	XY轴：±6.5 Z轴：±3	0.5	0.005	0.13	0.01	0.003	88.3 （9.0kgf）	3.9	3.9	2.5	2.5	0.55	TSD-405S
40 x 40	XY轴：±6.5 Z轴：±3	0.25	0.005	0.13	－	0.002	39.2 （4.0kgf）	3.9	3.9	2.5	2.5	0.55	TSD-405CFP
40 x 40	XY轴：±6.5 Z轴：±3	0.25	0.005	0.13	－	0.002	39.2 （4.0kgf）	3.9	3.9	2.5	2.5	0.55	TSD-405SFP
60 x 60	XY轴：±6.5 Z轴：±5	0.5	0.005	0.13	0.01	0.003	147 （15.0kgf）	6.9	6.9	1	1	1.9	TSD-605C
60 x 60	XY轴：±6.5 Z轴：±5	0.5	0.005	0.13	0.01	0.003	147 （15.0kgf）	6.9	6.9	1	1	1.9	TSD-605S
60 x 60	XY轴：±6.5 Z轴：±5	0.25	0.005	0.13	－	0.002	39.2 （4.0kgf）	6.9	6.9	1	1	1.9	TSD-605CFP
60 x 60	XY轴：±6.5 Z轴：±5	0.25	0.005	0.13	－	0.002	39.2 （4.0kgf）	6.9	6.9	1	1	1.9	TSD-605SFP
80 x 80	XY轴：±12.5 Z轴：±5	0.5	0.005	0.13	0.01	0.003	147 （15.0kgf）	6.9	6.9	0.71	0.71	2.6	TSD-805C
80 x 80	XY轴：±12.5 Z轴：±5	0.5	0.005	0.13	0.01	0.003	147 （15.0kgf）	6.9	6.9	0.71	0.71	2.6	TSD-805S
80 x 80	XY轴：±12.5 Z轴：±5	0.25	0.005	0.13	－	0.002	39.2 （4.0kgf）	6.9	6.9	0.71	0.71	2.6	TSD-805CFP
80 x 80	XY轴：±12.5 Z轴：±5	0.25	0.005	0.13	－	0.002	39.2 （4.0kgf）	6.9	6.9	0.71	0.71	2.6	TSD-805SFP
100 x 100	XY轴：±12.5 Z轴：±10	0.5	0.005	0.15	0.01	0.003	245 （25.0kgf）	9.8	9.8	0.47	0.47	7.1	TSD-1005C
100 x 100	XY轴：±12.5 Z轴：±10	0.5	0.005	0.15	0.01	0.003	245 （25.0kgf）	9.8	9.8	0.47	0.47	7.1	TSD-1005S
100 x 100	XY轴：±12.5 Z轴：±10	0.25	0.005	0.15	－	0.002	39.2 （4.0kgf）	9.8	9.8	0.47	0.47	7.1	TSD-1005CFP
100 x 100	XY轴：±12.5 Z轴：±10	0.25	0.005	0.15	－	0.002	39.2 （4.0kgf）	9.8	9.8	0.47	0.47	7.1	TSD-1005SFP
120 x 120	XY轴：±20 Z轴：±10	0.5	0.005	0.15	0.01	0.003	245 （25.0kgf）	9.8	9.8	0.45	0.45	8.3	TSD-1205C
120 x 120	XY轴：±20 Z轴：±10	0.5	0.005	0.15	0.01	0.003	245 （25.0kgf）	9.8	9.8	0.45	0.45	8.3	TSD-1205S

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