DS デジタルセンサ
- デジタルセンサシリーズは、シグマファイン（ピエゾ）ステージ用に、新規に開発いたしました周波数デジタル変換方式微小変位センサ（コイルのインダクタンスと分布キャパシタの静電結合を利用した微小変位センサ）を、センサのみを必要とするお客様を対象に、各種ホルダ付センサと変位表示器をペアにしてお使いいただける様、開発したセンサシリーズです。
- お客様による装置組み込みを主眼に置き、小型・軽量・取り付けと位置調整が容易な形状になっておりますので、精密計測、精密測定などの分野において応用されると考えております。
注意
- EMC（Electro Magnetic Compatibility）対策：本デジタルセンサは、対向板を対峙させないとき約120MHz、対向板を近接させたとき約300MHzで発振します。各種EMC規格をクリアするには、デジタルセンサと対向板のセンサ系を金属でシールドする等の対策が必要になります。お客様側で十分な対策をお願いいたします。なお、EMCに対する障害に関しましては、当社は一切の責任を負いません。
