TAF-SS-KZ 観察用オートフォーカスユニット
- 同軸観察＋オートフォーカス。FPDの表面検査用顕微鏡に。
- フォーカス調整は対物レンズのみを動かす対物レンズ駆動アクチュエータで行います。これにより、高速な焦点位置あわせが可能です。
- 観察系はオートフォーカス機構と独立していますので、CCD出力を利用した画像処理による自動位置決めも可能となります。
- オートフォーカス機構に観察光学系が備わっており、フォーカスポイントを同軸で観察することが出来ます。
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