设备・技术
设计
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3D CAD 设计
可确认形状及动作是否有干涉,也可实现结构解析。设计时,不但可确认静态的,还可以确认运动时是否有干涉。在图纸状态确认设计内容,比如,空间大小,强度,耐性和成本,还可以进行解析分析。
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光学设计
考虑材料特性,设计并优化光学件的组合,为客户提供特殊的光学产品。
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薄膜设计
根据客户要求的光学特性,进行光学优化设计,并提供光学优化设计结果。使用多种镀膜设备和成膜工艺,根据优化设计的膜层参数完成镀膜工艺。
加工
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5轴控制立式加工中心
使用5轴控制,实现各种形状的加工。
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NC球心研磨机
高速研磨加工高精度的镜片。
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IBS装置
实现了散乱或吸收损失小的高反射高精度高激光损伤阈值光学产品的生产。
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平面研磨机
研磨镜片和棱镜的平面部分,实现很高的面精度。
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近场光刻蚀装置
利用近场光技术,实现了干式•非接触的,表面粗糙度(Ra)小于1Å的光学研磨。
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离子镀膜机
用来镀高强度,高密度的光学膜。
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复合车床
以中心轴加工镜筒和圆形部品,同时可加工定位用的孔和角,实现高精度的定位。
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超声波清洗机
清洗镀膜之前的基板。
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磁流体(MRF)抛光机
使用含有磁性体的磨料,利用磁场产生粘弹性,控制磨料和工件的接触力度,实现超高精度的镜面抛光加工。
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电火花数控线切割机
使用电火花数控加工技术,实现精细加工。
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卧式数控加工中心
备有丰富的工装夹具,可加工制造各种复杂形状的产品或批量产品。
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立式数控加工中心
使用多种工装,加工各种各样的复杂形状零件。
检查及测量
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分光光度仪
评估紫外光,可见光,近红外光区域的分光特性。
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扫描电子显微镜(SEM)
能实现光学显微镜难以做到的表面构造的评估和观测,还可以进行元素分析。
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非接触3D表面形状测量仪
测量评估基板表面的微小形状,粗糙度。
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激光测长仪
测量直动自动平台的定位精度,重复定位精度,反转时的空行程等位置(距离)精度。
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原子力显微镜
通过测试探针和样品之间的原子力,实现了亚纳米级精度的表面形状精度的测量。
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焦距测量仪
测量球面透镜的焦距精度。
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Zygo®激光干涉仪
光学原器使用Zygo®干涉仪检测,保证了基板的面精度。
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三座标测量仪
测量及评估形状复杂的半成品以及成品的精度。
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光腔衰荡测定装置(Cavity Ring-Down)
通过测定封闭在法布里泊罗(Fabry-Perot)谐振腔内的光子寿命,测定超级反射镜的反射率。
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群延迟色散测量仪
使用准确可靠的白光干涉仪 (WLI),可测量用于飞秒激光的反射或透射的光学器件的群延迟色散 (GDD)。
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粗糙度轮廓仪
测量表面粗糙度和轮廓形状的设备,实现表面形状和粗糙度的超精密检测。