設備 Equipment
設計
3次元設計
形状や干渉確認・構造解析を検証できます。 また静止状態・動作状態ともに干渉部を発見し、設計を進められます。予め設計に盛り込む内容を伺い、スペース・強度・耐性・コスト面を検討し、解析シミュレーションを行い、ご提案することができます。
光学設計
材料特性を考慮しながら、光学素子を組み合わせデザインし、お客様の特注製品などの光学設計をしています。
薄膜設計
お客様ご要望の光学特性に対して、最適なシミュレーションのご提示が可能です。シミュレーションに基づく成膜プロセスと多様な成膜装置で、様々なご要望の特性にお答えします。
加工
5軸制御マシニングセンター
5軸制御で様々な形状加工が可能です。
NC球芯研磨機
高速で高精度なレンズ研磨加工が可能です。
IBS装置
散乱損失や吸収損失が低く、高反射・高精度・高耐力・低散乱製品の製作が可能です。
平面研磨機
ミラーやプリズムなどの平面部分を研磨し、高い面精度に仕上げます。
近接場エッチング装置
近接場光を利用し乾式非接触で表面粗さ(Ra)1Å以下の研磨が可能になります。
イオンアシスト蒸着機
密着性、緻密性の高い蒸着膜のコーティングをしています。
NC複合旋盤
鏡筒や丸物部品を光軸中心に加工し、位置決めが必要な穴や角加工が同時に行え、高精度な位置決めができます。
超音波洗浄機
蒸着加工を行う前に基板の洗浄を行います。
磁気粘弾性流体(MRF)研磨機
磁場によって磁性体と研磨剤を含んだ流体に粘弾性を持たせ、磁気の作用でワークへのあたり方をコントロールし、非常に高精度の仕上げ研磨が可能です。
ワイヤー放電加工機
ワイヤー放電による微細形状加工をしています。
横型マシニングセンター
多種多様な製品に対応するため、治具を利用し複雑な形状の製品を加工しています。
縦型マシニングセンター
多種多様な製品に対応するため、治具を利用し複雑な形状の製品を加工しています。
検査/測定
分光光度計
紫外域~可視域~近赤外域の分光特性を評価します。
走査型電子顕微鏡(SEM)
光学顕微鏡が苦手とされる表面構造の評価観察または元素分析も可能です。
非接触三次元表面形状測定機
基板表面の微小な形状、粗さを測定評価します。
レーザ測長器
直動自動ステージの位置決め精度・繰返し位置決め精度・ロストモーションを測定(距離の精度測定)しています。
AFM(Atomic Force microscope)
探針と試料に作用する原子間力を検出するタイプの顕微鏡でサブナノメートルの表面形状測定が可能です。
焦点距離測定器
球面レンズの焦点距離の精度を測定しています。
Zygo®干渉計システム
マスターオプティクスはザイゴ干渉計システムで検査測定し、基板面精度を保証しています。
三次元測定機
加工部品や完成品などの複雑な立体形状の測定・評価を行なっています。
CRD測定装置(Cavity Ring-Down)
Fabry-Perot共振器に蓄積された光子の寿命を測定し、高反射ミラーの反射率を測定します。
分散測定器
正確で信頼性の高い時間領域白色干渉計(WLI)を使用し、フェムト秒パルスレーザ用の反射型および透過型光学部品の群速度遅延分散(GDD)の特性評価を行うことができます。
表面粗さ測定機
表面粗さ、輪郭形状の測定が可能な測定システムです。主に超精密表面形状・粗さ測定を行います。